Miniatyrvakuumpumpar, ofta kallade små vakuumpumpar på grund av sin ringa storlek, definieras enligt följande: en miniatyrvakuumpump har ett inlopp och ett utlopp, som kontinuerligt kan skapa ett vakuum eller undertryck vid inloppet och ett litet positivt tryck vid utloppet; arbetsmediet är i första hand gas och det är ett kompakt instrument.
Genom att ansluta en förseglad behållare (initialt vid atmosfärstryck på 100 kPa) till en miniatyrvakuumpump och kontinuerligt evakuera den, kommer gastrycket inuti den förseglade behållaren så småningom att sjunka under atmosfärstrycket och nå ett absolut tryck på 60 kPa. Vidare, genom speciella tekniska förbättringar, förutom enkelfunktionspumpande miniatyrvakuumpumpar, kan dubbla-pumpar och evakueringspumpar utvecklas (dvs. avgasänden kan generera relativt stort övertryck), användas för trycksättning, fyllning, övervinnande av systemmotstånd, etc. Det finns också unika vatten-}dualpumpar för vatten-} som kan användas i dubbla situationer som kräver{10}}långvarig tomgång eller torrkörning, till skillnad från vanliga vattenpumpar som skadas av tomgång eller torrkörning.