Miniatyrvakuumpumpar är pumpar som använder gas som primärt arbetsmedium. Lämpliga för långvarig-tomgång och torrdrift skapar de ett vakuum (negativt tryck) genom att driva ett membran för att utföra gassugning och urladdning genom en-motordriven fram- och återgående rörelse. Dessa enheter har både sug- och avgasmunstycken. Specialiserade modeller inkluderar dubbla-sug-/expansions- och vatten-/gasmodeller för att anpassa sig till olika driftsförhållanden.
Kärnkomponenter inkluderar membranpumpen och vakuumregulatorn. En typisk produkt är Busch RA0020F (pumphastighet 20 m³/h, sluttryck 0,1 mbar). Den tekniska utvecklingen fokuserar på miniatyrisering, energieffektivitet och intelligens, inklusive magnetisk levitationsteknik, olje-fri smörjteknik och miljövänlig design. Viktiga tillämpningar inkluderar medicinsk utrustning (suganordningar, ventilatorer), miljöövervakning, halvledartillverkning och den nya energiindustrin. Den inhemska marknadens storlek beräknades nå 5 miljarder yuan 2024.